Spectromètres de masse



FIBS SIMS analyses pour matériaux à l'échelle nanoscopique

Une capacité SIMS hautes performances pour des systèmes FIB existants

La plage dynamique naturellement élevée ainsi que le niveau de spécificité de surface offert par un système SIMS le rendent particulièrement bien adapté aux tâches de détection de routine, telles que le contrôle de gravure ionique dans les opérations de production de semiconducteurs, la préparation des échantillons, ainsi que la détermination des compositions dans des analyses des défaillances. Tout en utilisant le faisceau d'ions primaire d'un système FIB existant, le système Hiden représente un système d'analyse FIB-SIMS hautes performances complémentaire.

FIB-SIMS

Equipements relatifs

EQS

Vue d'ensemble

La plage dynamique naturellement élevée ainsi que le niveau de spécificité de surface offert par un système SIMS le rendent particulièrement bien adapté aux tâches de détection de routine, telles que le contrôle de gravure ionique dans les opérations de production de semiconducteurs, la préparation des échantillons, ainsi que la détermination des compositions dans des analyses des défaillances.

Avec un faisceau d'ions primaire d'un système FIB existant déjà en place, le système Hiden représente un système d'analyse FIB-SIMS hautes performances complémentaire.

Le logiciel Hiden SIMS MAPPER permet de contrôler le faisceau FIB, obtenant des images élémentaires ainsi que des profils de profondeur 3D sur le champ de vision du SEM avec une microscopie corrélative à l'échelle nanométrique.

Brochures

Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis – RGA

Mass Spectrometers for Surface Analysis

Vue d'ensemble

La plage dynamique naturellement élevée ainsi que le niveau de spécificité de surface offert par un système SIMS le rendent particulièrement bien adapté aux tâches de détection de routine, telles que le contrôle de gravure ionique dans les opérations de production de semiconducteurs, la préparation des échantillons, ainsi que la détermination des compositions dans des analyses des défaillances.

Avec un faisceau d'ions primaire d'un système FIB existant déjà en place, le système Hiden représente un système d'analyse FIB-SIMS hautes performances complémentaire.

Le logiciel Hiden SIMS MAPPER permet de contrôler le faisceau FIB, obtenant des images élémentaires ainsi que des profils de profondeur 3D sur le champ de vision du SEM avec une microscopie corrélative à l'échelle nanométrique.