Spectromètres de masse



Analyse de gaz résiduels

Pour analyses RGA rapides, continues, sur une large plage dynamique.

Analyse de gaz résiduel est un terme général pour l'analyse d'une espèce de gaz ou de vapeur dans les chambres à vide et les procédés sous vide.

RGA series

Equipements relatifs

RGA Series

HMT

3F Series RGA

HPR-30

Vue d'ensemble

Les spectromètres de masse quadripolaires Hiden permettent les analyses RGA rapides, continues, sur une large plage dynamique, et la mesure des pressions partielles des espèces qui sont essentiels à des exigences de qualité et de procédés sous vide.

Les applications comprennent :

La détection de fuite en chambre à vide
La mesure et la surveillance de la qualité du vide
Détection de fuite virtuelle
Études de dégazage
Surveillance des cycles d’étuvage / pompage

Vue d'ensemble

Les spectromètres de masse quadripolaires Hiden permettent les analyses RGA rapides, continues, sur une large plage dynamique, et la mesure des pressions partielles des espèces qui sont essentiels à des exigences de qualité et de procédés sous vide.

Les applications comprennent :

La détection de fuite en chambre à vide
La mesure et la surveillance de la qualité du vide
Détection de fuite virtuelle
Études de dégazage
Surveillance des cycles d’étuvage / pompage