Spectromètres de masse



Analyse de surfaces sous ultra-vide

Pour la détermination de la composition de surface, l'analyse des contaminants et profilage en profondeur.

Les spectromètres de masse quadripolaires Hiden offrent une capacité de détection haute sensibilité pour les environnements UHV / XHV les plus exigeants. Le détecteur à comptage d’ions permet de mesurer à la fois des ions positifs et négatifs à travers 7 décades, le mode d'accumulation intégrale étant utilisé pour la capture d'événements de particules discrètes. Le gating du signal et le mode multicanaux sont inclus pour les études de faisceaux moléculaires pulsés.

Wafers

Equipements relatifs

EQS

SIMS Workstation

3F Series 1000/2000 RGA

EPIC

IDP

TPD Workstation

Vue d'ensemble

Études UHV en température programmée de désorption (TPD) – Série 3F / 3F-PIC. Les spectromètres de masse Hiden Analytical avec comptage d'ions sont disponibles configurés spécifiquement pour les TPD UHV, permettant une détection rapide sur une large plage dynamique de différentes espèces et la capture d'événements de désorption complets. Les données de rampe de température sont automatiquement acquises en même temps que les données de spectre de masse.

La sonde de désorption ionique Hiden IDP est un spectromètre de masse quadripolaire configuré pour l'analyse des ions de basse énergie dans les études de désorption stimulées par électrons ou photons.

Le SIMS - pour le profilage en profondeur, la mesure de la composition de la surface, et l'imagerie élémentaire. Hiden propose également un centre d'analyse complète pour la science des surfaces.

Vue d'ensemble

Études UHV en température programmée de désorption (TPD) – Série 3F / 3F-PIC. Les spectromètres de masse Hiden Analytical avec comptage d'ions sont disponibles configurés spécifiquement pour les TPD UHV, permettant une détection rapide sur une large plage dynamique de différentes espèces et la capture d'événements de désorption complets. Les données de rampe de température sont automatiquement acquises en même temps que les données de spectre de masse.

La sonde de désorption ionique Hiden IDP est un spectromètre de masse quadripolaire configuré pour l'analyse des ions de basse énergie dans les études de désorption stimulées par électrons ou photons.

Le SIMS - pour le profilage en profondeur, la mesure de la composition de la surface, et l'imagerie élémentaire. Hiden propose également un centre d'analyse complète pour la science des surfaces.