Spectromètres de masse



Couches minces et élaboration de surfaces

Caractérisation plasma, analyseurs d'ions du plasma et sondes de Langmuir

Le dépôt de couches minces, le développement et la fonctionnalisation des surfaces a une large gamme d'applications en microélectronique, nanotechnologies, panneaux solaires, panneaux thermiques, mécanique, optique, photonique, textiles, revêtements, chimie, biologie et médecine.

Hard Disk

Equipements relatifs

HPR-30

EQP

PSM

ESPion

TPD Workstation

SIMS Workstation

IMP-EPD

XBS

IG5C

IG20

Vue d'ensemble

Le dépôt de couche mince utilise un large éventail de techniques, y compris :

Magnetron sputtering
ALD - dépôt de couche atomique
CVD - dépôt chimique en phase vapeur
MOCVD - dépôt chimique métal organique en phase vapeur
PECVD – Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
MBE - croissance épitaxiale par faisceau moléculaire
RIE - gravure plasma ionique réactive
RIE - gravure plasma ionique réactive


Chaque technique est souvent adaptée pour une application spécifique, nécessitant des paramètres de procédés spéciaux pour produire les propriétés de surface / film requises. Les spectromètres de masse Hiden offrent un regard critique sur le traitement de couches minces et la caractérisation, permettant l'optimisation de la production de films minces et de la qualité de surface.

Les spectromètres de masse Hiden sont utilisés pour le contrôle des procédés, y compris la détection de fin d’attaque de la gravure par faisceau d'ions de films minces magnétiques, de couches III-V dont l'arséniure de gallium, et de films minces supraconducteurs dont YBaCuO yttrium baryum oxyde de cuivre, et pour le suivi de flux où un contrôle précis de la cinématique de croissance MBE est nécessaire.

Les analyseurs de gaz résiduels sont utilisés pour la surveillance de procédés et la détection de fuite, offrant une vue unique sur l'environnement de traitement sous vide. L'analyse des pressions partielles des résidus sous vide, y compris la vapeur d'eau, les hydrocarbures, les COV, et les fuites d'air est une opération de routine.

La station SIMS Hiden est utilisée pour l'analyse des procédés de films minces, fournissant le profilage en profondeur et l’imagerie fine de surface de films déposés par MBE, de revêtements de verre, des films minces magnétiques et d'oxydes métalliques.
Les systèmes Hiden sont configurés individuellement pour assurer une réponse de l'analyseur optimale pour la sensibilité et la vitesse.

Vue d'ensemble

Le dépôt de couche mince utilise un large éventail de techniques, y compris :

Magnetron sputtering
ALD - dépôt de couche atomique
CVD - dépôt chimique en phase vapeur
MOCVD - dépôt chimique métal organique en phase vapeur
PECVD – Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
MBE - croissance épitaxiale par faisceau moléculaire
RIE - gravure plasma ionique réactive
RIE - gravure plasma ionique réactive


Chaque technique est souvent adaptée pour une application spécifique, nécessitant des paramètres de procédés spéciaux pour produire les propriétés de surface / film requises. Les spectromètres de masse Hiden offrent un regard critique sur le traitement de couches minces et la caractérisation, permettant l'optimisation de la production de films minces et de la qualité de surface.

Les spectromètres de masse Hiden sont utilisés pour le contrôle des procédés, y compris la détection de fin d’attaque de la gravure par faisceau d'ions de films minces magnétiques, de couches III-V dont l'arséniure de gallium, et de films minces supraconducteurs dont YBaCuO yttrium baryum oxyde de cuivre, et pour le suivi de flux où un contrôle précis de la cinématique de croissance MBE est nécessaire.

Les analyseurs de gaz résiduels sont utilisés pour la surveillance de procédés et la détection de fuite, offrant une vue unique sur l'environnement de traitement sous vide. L'analyse des pressions partielles des résidus sous vide, y compris la vapeur d'eau, les hydrocarbures, les COV, et les fuites d'air est une opération de routine.

La station SIMS Hiden est utilisée pour l'analyse des procédés de films minces, fournissant le profilage en profondeur et l’imagerie fine de surface de films déposés par MBE, de revêtements de verre, des films minces magnétiques et d'oxydes métalliques.
Les systèmes Hiden sont configurés individuellement pour assurer une réponse de l'analyseur optimale pour la sensibilité et la vitesse.