Spectromètres de masse



Nanotechnologie

Pour la détermination de la composition de surface, l'analyse des contaminants et le profilage en profondeur

Les spectromètres de masse Hiden permettent l’analyse du vide, des plasmas et de la surface dans les applications des nanotechnologies.

Surface Science

Equipements relatifs

SIMS Workstation

TPD Workstation

XBS

HPR-60 MBMS

Vue d'ensemble

Les nanotechnologies sont la recherche et le développement technologique à l'échelle atomique, moléculaire ou macromoléculaire, dans l'échelle de longueur d'environ 1 à 100 nanomètres, combinée avec la création et l'utilisation de structures, dispositifs et systèmes qui ont de nouvelles propriétés et fonctions en raison de leur petite taille et de leur capacité à contrôler ou à manipuler à l'échelle atomique.

Les applications comprennent :
SIMS pour profilage en profondeur des structures de couches minces à l'échelle du nanomètre.
La caractérisation du plasma pour l'amélioration des procédés de gravure de périphériques
Diagnostic du vide / Désorption en température programmée en UHV
Microscopes à effet tunnel.

Vue d'ensemble

Les nanotechnologies sont la recherche et le développement technologique à l'échelle atomique, moléculaire ou macromoléculaire, dans l'échelle de longueur d'environ 1 à 100 nanomètres, combinée avec la création et l'utilisation de structures, dispositifs et systèmes qui ont de nouvelles propriétés et fonctions en raison de leur petite taille et de leur capacité à contrôler ou à manipuler à l'échelle atomique.

Les applications comprennent :
SIMS pour profilage en profondeur des structures de couches minces à l'échelle du nanomètre.
La caractérisation du plasma pour l'amélioration des procédés de gravure de périphériques
Diagnostic du vide / Désorption en température programmée en UHV
Microscopes à effet tunnel.