Spectromètres de masse



Revêtement optique à couche mince

Diagnostics du vide et contrôle des processus de revêtement en couches minces

Les analyseurs de gaz résiduels (RGA) fournissent des informations vitales pour améliorer la qualité et la production de revêtements optiques en couches minces. Les RGA Hiden mesurent les espèces réactives pour le contrôle du processus et assurent la surveillance d'une contamination éventuelle ainsi que la détection de fuites.

Film optique

Equipements relatifs

HMT

HPR-30

RGA-Series

Vue d'ensemble

Le contrôle des composants réactifs critiques dans le revêtement optique en couche mince, et le rapport de pression partielle oxygène / azote par exemple, est vital pour la production de couches minces de haute qualité.

Les systèmes Hiden comprennent des options complètes d'interface de données standard pour permettre l'intégration d'un contrôle de production automatisé. La vapeur d'eau, les hydrocarbures et les fuites sont détectés par les RGA Hiden avec une sensibilité extrêmement élevée, permettant une supervision constante de la production. La gamme RGA de Hiden comprend des systèmes de surveillance de nombreuses techniques de production de traitement, y compris l'évaporation, le plasma, le CVD et la pulvérisation magnétron.

Les procédés de revêtement sous vide utilisés dans la production de revêtements optiques en couches minces sont optimisés à différentes plages de pression, certains procédés fonctionnant à <5x10-3mbar, et d'autres fonctionnant à des pressions aussi élevées que 1mbar ou plus.

Vue d'ensemble

Le contrôle des composants réactifs critiques dans le revêtement optique en couche mince, et le rapport de pression partielle oxygène / azote par exemple, est vital pour la production de couches minces de haute qualité.

Les systèmes Hiden comprennent des options complètes d'interface de données standard pour permettre l'intégration d'un contrôle de production automatisé. La vapeur d'eau, les hydrocarbures et les fuites sont détectés par les RGA Hiden avec une sensibilité extrêmement élevée, permettant une supervision constante de la production. La gamme RGA de Hiden comprend des systèmes de surveillance de nombreuses techniques de production de traitement, y compris l'évaporation, le plasma, le CVD et la pulvérisation magnétron.

Les procédés de revêtement sous vide utilisés dans la production de revêtements optiques en couches minces sont optimisés à différentes plages de pression, certains procédés fonctionnant à <5X10-3mbar, et d'autres fonctionnant à des pressions aussi élevées que 1mbar ou plus.