Spectromètres de masse



Pour analyse de gaz résiduels

RGA Series

Système pour l'analyse du contenu d'un récipient ou dérivés d'un process

Mesure temps réel de concentration en gaz ou vapeurs
HAL 3F

Gamme de masse

50,100, 200, 300 ou 510 amu

Concentration minimale détectable (HALO)

2X10-13 mbar

Concentration minimale détectable (3F)

2X10-14 mbar

Concentration minimale détectable (3F-PIC)

2X10-15 mbar

Source d'ions

Gamme de sources par impact d'électrons disponible

Contrôle complet de la source d'ion

Oui

Emission électronique

Ajustable par logiciel entre 1µA et 2mA

Energie électronique

Ajustable par logiciel entre 0V et 150 eV

Energie d'ions

Ajustable par logiciel entre 0V et 10 eV

Détecteur

Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

Bride (HALO)

Bride DN-35-CF (2.75"/70mm)

Bride (3F – triple filtre)

Bride DN-63-CF (4.5”/114mm)

 

Ion Source Options

Une gamme de source par impact d'électrons qui peut etre montee sur l'ensemble de analyseurs de gaz résiduels

Analyseurs de gaz résiduels configurés pour des applications spécifiques, comme l'analyse de faisceaux moléculaires par exemple
RGA Source

RGA standards

Configuration à symétrie radiale pour les applications générales

UHV low profile

Optimisé pour les études de TPD UHV

Source fermée

Pour entrées de gaz directes avec pompage différentiel pour l'analyseur

XBS Cross Beam

Pour mesure et contrôle de la vitesse de dépot en MBE

Cross Beam standard

Utilisé quand le faisceau peut être lié aux condensés sur les surfaces de la source

Laser Cross Beam

2 passages libres perpendiculaires pour la photoionisation par laser

Optique électronique de 4 lentilles
(avec source d'ion intégrée)

Pour analyse de désoption stimulee par électrons, photons et laser

Source d'ions en platine

Pour opération avec des gaz réactifs

Source d'ions plaquée or

Pour minimiser l'effet du dégasage de la source en UHV

 

HMT

Double mode RGA pour diagnostic du vide et surveillance de procédé sans pompage différentielle

Mesure de gaz résiduels, contaminations et détection de fuites
HMT

Gamme de masse

100 amu

HMT - mode RGA haute pression

jusqu'à 5 x 10-3 mbar

RGA - mode

Détection jusqu'à 2 X 10-13 mbar

Mode détection de fuites

Paramètré pour la recherche d'Helium en standard

Bride

DN-35-CF (70mm OD)

Detecteur (Standard)

Déctecteur Faraday

Detecteur (Optionnel)

Multiplicateur d'électrons

 

 

 

 

 

HAL 201 RC

Analyseur de gaz résiduels configuré pour les applications UHV éxigentes

Mesure la concentration de gaz et vapeurs en temps réel
RGA gold source

Gamme de masse

200 amu

Concentration minimale détectable

5 x 10-14 mbar

Source d'ions

Source d'ions plaquée or

Contrôle complet de la source d'ion

Oui

Emission électronique

Ajustable par logiciel entre 1µA et 2mA

Energie électronique

Ajustable par logiciel entre 0V et 150 eV

Energie d'ions

Ajustable par logiciel entre 0V et 10 eV

Détecteur

Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

Bride

DN-35-CF (2.75"/70mm OD)

 

HALO 201 MBE

Analyseur de gaz résiduels configuré pour l'epitaxy par faisceaux moléculaires

Mesure gaz résiduels, contamination et détection de fuite dans les systèmes MBE

Gamme de masse

200 ou 300 amu

Pression partielle minimale détectable

2 x 10-13 mbar

Mode détection de fuites

Paramètré pour la recherche d'Helium en standard

Détecteur

Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

Filtre quadripolaire conçu pour les MBE

Oui

Cablage électrique en Molybdène au lieu de cuivre

Oui

Protection de la source d'ions pour éviter la contamination

Oui

Extension thermique pour opérer tout en chauffant

Oui (Optionnel)

Bride

DN-35-CF (2.75"/70mm OD)

 

XBS

Système pour l'analyse de plusieurs sources dans les applications MBE

Pour l'analyse du faisceaux moleculaires et le Contrôle du dépot
XBS

Gamme de masse

320 ou 510 amu

Cross beam source d'ions

Sources X-beam multiples configurées par CAD

Angle d'acceptance

+/- 35 degrés de l'axe

Détermination du taux de croissance

Typiquement < 0.01 Angstrom / seconde

Mode de détection de fuite

Paramètré pour la recherche d'Helium en standard

Suivi de la vitesse de depot

Sorties analogiques - 4, 8 ou 16 canaux

Option bras translateur vertical

oui (pour positionnement précis)

Protection refroidie par eau (option)

Oui (Protégé des sources de rayonnement)

Detecteurr

Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

 

qRGA

Système pour la recherche sur les Tokamaks

Mesure la pureté des carburants de fusion, notamment les isotopes de l'hydrogène, deuterium dans l'helium par exemple
qRGA

Gamme de masse

200 amu

Concentration minimale détectable

Niveaux de détection inferieurs au PPM

Opération en mode double

RGA conventionnel, TIMS

Ionisation Contrôlée pour potentiel d'ionisation APSI-MS

Oui

Operation automatisée

Oui

Logiciel utilisant des templates

Oui

Sortie de données quantitatives

Oui

Bride

DN-35-CF (2.75"/70mm OD)

Détecteur

Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

 

3F Series / 1000 Series RGA

Système pour procédés scientifiques de haute precision

Mesure les pressions partielles de gaz résiduels avec une tres haute résolution et une gamme de masse étendue à 1000uma
3F Series 1000/2000 RGA

Gamme de masse

50, 300, 510, ou 1000 amu

Concentration minimale détectable

2 x 10-14 mbar

Source d'ion

Gamme de sources par impact d'électrons disponible

Contrôle complet de la source d'ion

Oui

Emission électronique

Ajustable par logiciel entre 1µA et 2mA

Energie électronique

Ajustable par logiciel entre 0V et 150 eV

Energie d'ions

Ajustable par logiciel entre 0V et 10 eV

Detecteurr


Déctecteur Faraday et multiplicateur d'électrons

Bride de l'analyseur :

 

Bride - diamètre fixation 6mm

Bride - diamètre fixation 9mm

DN-63-CF (4.5"/114mm OD)

DN-100-CF (6"/150mm OD)

Adapteur système - fixation 6mm

Adapteur système - fixation 9mm

 

DN-35-CF (2.75”/70mm OD)

DN-63-CF (4.5”/114mm OD)

 

3F-PIC / 1000 Series PIC

Système pour analyses UHV transitoires rapides

Mesure la pression partielle des espèces en UHV avec compteur d'ions
UHV TPD

Gamme de masse

50, 300, 510 ou 1000 amu

Pression partielle minimale détectable

5 X 10-15 mbar: 1X10-16 mbar

Acquisition rapide

> 500 mesures/seconde

Source d'ions à ionisation contrôlable

Optimisé pour l'études de désorption

Gating du signal

résolution du gating de 100ns

Contrôle complet de la source d'ion


Oui

Bride :

 

Bride - fixation 6mm

Bride - fixation 9mm

DN-63-CF (4.5"/114mm OD)

DN-100-CF (6"/150mm OD)

Adapteur système - fixation 6mm

Adapteur système - fixation 9mm

DN-35-CF (2.75”/70mm OD)

DN-63-CF (4.5”/114mm OD)

 

EPIC / EPIC 1000 Series

Système pour analyses UHV des neutres, radicaux et ions

Mesure les ions, neutres et pressions partielles en UHV/XHV
EPIC

Gamme de masse

50, 300, 510, 1000, ou 2500 amu

Detecteur de comptage d'ions

Positifs et négatifs

DMM - multimode dynamique

Uniquement appliqué pour ionisation par attachement d'électrons pour
l'analyse de gaz électronégatifs

Pression partielle minimale détectable

5 X 10-15 mbar : 1X10-16 mbar

Vitesse de mesure


Jusqu'à 500 mesures par seconde

Bride :

 

Bride - fixation 6mm

Bride - fixation 9mm

DN-63-CF (4.5"/114mm OD)

DN-100-CF (6"/150mm OD)

Adapteur système - fixation 6mm

Adapteur système - fixation 9mm

DN-35-CF (2.75”/70mm OD)

DN-63-CF (4.5”/114mm OD)

 

 

 

IDP / IDP 1000 Series

système pour l'analyse d'ions, de neutres et de radicaux dans les études de désoption UHV

Mesure les ions et les neutres dans les désorptions générées par photons ou électrons
IPD

Gamme de masse

50, 300, 510, 1000, ou 2500 amu

Detecteur de comptage d'ions

Positifs et négatifs

Optique ionique intégrale IDP

Optimisée pour détection d'ions à basse énergie en études ESD ou PSD.

DMM - multimode dynamique

Uniquement appliqué pour ionisation par attachement d'électrons pour
l'analyse de gaz électronégatifs

Gating externe du signal


100ns de résolution du gating

Bride :

 

Bride - fixation 6mm

Bride - fixation 9mm

DN-63-CF (4.5"/114mm OD)

DN-100-CF (6"/150mm OD)

Adapteur système - fixation 6mm

Adapteur système - fixation 9mm

DN-35-CF (2.75”/70mm OD)

DN-63-CF (4.5”/114mm OD)