Élaboration de Surfaces
Compact SIMS
Le système Compact SIMS est un système d’analyse UHV rapide et compact pour le profilage de couches minces. Il fournit une sensibilité isotopique sur l’ensemble du tableau périodique.
AutoSIMS
Le système d’analyse de surface AutoSIMS est conçu pour des opérations à haut débit. Il peut effectuer des centaines de processus par jour sans intervention de l’opérateur.
SIMS/SNMS Workstation
La station de travail SIMS combine l’analyse SIMS dynamique et statique avec un spectromètre de masse bi-mode pour la détection des ions positifs et négatifs. Il offre un mode de détection supplémentaire par spectrométrie de masse neutre secondaire (SNMS) pour une flexibilité supérieure dans l’analyse des applications de surface.
ToF-qSIMS Workstation
Le système TOF-qSIMS est conçu pour l’analyse de surface et les applications de profilage en profondeur d’une large gamme de matériaux: les polymères, produits pharmaceutiques, supraconducteurs, semi-conducteurs, alliages, revêtements optiques et fonctionnels et les diélectriques, avec une sensibilité de mesure de traces à des niveaux inférieurs au ppm.
Dual Polarity SIMS Workstation
La station de travail SIMS à double polarité Hiden capture simultanément les ions secondaires positifs et négatifs, fournissant un profil chimique complet en une seule analyse. Elle utilise deux spectromètres EQS opposés pour une efficacité de collecte accrue. Compatible avec tous les canons à ions, elle offre des résultats rapides et précis pour des applications allant des cellules solaires et des oxydes aux dopants et aux impuretés à l’état de traces.
EQS – Analyseur SIMS
Le Hiden EQS (quadrupôle électrostatique) est un détecteur SIMS polyvalent d’ions positifs et négatifs pour les applications d’analyse de surface à l’échelle nanométrique. Il offre un analyseur d’énergie sectoriel électrostatique à 45° intégré, et des taux de transmission élevés.
MAXIM
Le système MAXIM est un analyseur SIMS. Offrant une gamme de masse jusqu’à 1000 uma, il intègre un filtre d’énergie pour l’acceptation des ions à 30°, des optiques d’extraction SIMS à haute transmission, et un détecteur de comptage d’ions par impulsions (PIC).
IG5C
L’IG5C est doté d’une source d’ionisation de surface à faible puissance et haute luminosité couplée à une colonne d’ions compacte, offrant des performances élevées de faible encombrement. Il est conçu comme un faisceau d’ions primaire pour toutes les applications SIMS, dynamiques, statiques et d’imagerie.
IG20
Le IG20 est un canon à ions de 5keV Argon ou Oxygene pour l’analyse de surface en UHV. Il est conçu comme faisceau d’ions primaire pour les applications SIMS, Auger et XPS pour l’imagerie et le profilage de profondeur.
Systèmes SIMS pour Applications Spécifiques
Le concept modulaire de nos systèmes nous permet de concevoir des instruments personnalisés pour des applications spécifiques.
XPS pour SIMS
Une option UHV multi-technique pour l’élaboration de surfaces conçue pour XPS, UPS, AES, SAM, ISS et LEIS installés sur la station de travail SIMS.
